全球最小最亮的亚搏手机版app下载UVC LED问世，直径仅为5微米。亚搏手机版app下载据外媒报道，美国南卡罗来纳大学（the University of South Carolina）亚搏手机版app下载的科学家已开发出全球最小、最亮的深紫外LED，亚搏手机版app下载芯片尺寸仅为5微米，波长为281nm。亚搏手机版app下载由这些芯片组成的UVC LED阵列亮度达361W·cm-2。

据悉，在本世纪初，亚搏手机版app下载南卡罗来纳大学的研究院队就开始研发小型亚搏手机版app下载UV LED互联阵列。第一代UV LED像素直径为25微米，亚搏手机版app下载组成了10×10的阵列，提升了光输出功率，具有超高可靠性，亚搏手机版app下载并减少了电流拥挤，亚搏手机版app下载主要对标串联电阻和辅助电流扩展。

最近，亚搏手机版app下载该团队针对深紫外光源再次对这个结构进行研究，亚搏手机版app下载主要聚焦热阻抗以及像素尺寸对发射功率的影响。

据团队的发言人亚搏手机版app下载Richard Floyd透露，将深紫外LED的尺寸缩小到20微米以内不会增加大部分生产步骤的难度，亚搏手机版app下载也不需要专门的设备来完成。例如亚搏手机版app下载，研究团队亚搏手机版app下载在所有的光刻步骤中采用了标准的光阻剂光罩（Photoresist Masking）和亚搏手机版app下载Karl Suss MJB-3掩模对准器（Mask Aligner）。

不过，为了保证整个晶圆的均匀性，亚搏手机版app下载研究团队优化了20微米以下光刻曝光和显影时间，亚搏手机版app下载同时优化了p极欧姆接触退火条件。

研究团队将直径为90微米的单像素亚搏手机版app下载LED参照物与三个不同的阵列结构进行对比，分别是：亚搏手机版app下载36个直径为15微米的像素阵列、81个直径为亚搏手机版app下载10微米的像素阵列、324个直径为5微米的像素阵列，间隙均为5微米。亚搏手机版app下载通过晶圆上测量法（采用500ns脉冲和0.05%的占空比以最大程度降低器件的热量）发现，亚搏手机版app下载带有铝散热片的单个5微米（直径）像素，亚搏手机版app下载当驱动电流为10.2kA·cm-2时，亚搏手机版app下载峰值亮度可达到291W·cm-2，是上述提及亚搏手机版app下载LED参照物亮度的30倍。

三个不同阵列的研究结果显示，亚搏手机版app下载得益于消除热下垂的优越排热技术，亚搏手机版app下载降低像素尺寸可提升性能。亚搏手机版app下载相比单芯片参照物，324个直径为亚搏手机版app下载5微米的像素阵列在连续波模式下，亚搏手机版app下载输出功率提升了5倍以上，而在脉冲模式下，亚搏手机版app下载输出功率可提升15倍以上。

通过本次研究，亚搏手机版app下载研究团队发现，亚搏手机版app下载该互联微像素阵列的外量子效率不会随着像素尺寸缩小而降低，因此亚搏手机版app下载，研究者们有信心在不影响器件性能的条件下，亚搏手机版app下载开发出更小尺寸的深紫外LED。